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作用用途
1、新一代超高壓絕緣介質材料。作為良好的氣體絕緣體,被廣泛用于電子、電氣設備的氣體絕緣。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑,廣泛應用于微電子技術領域,用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中用作生產摻氟玻璃的氟源,在制造低損耗優質單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準分子激光器的摻加氣體。在氣象、環境檢測及其他部門用作示蹤劑、標準氣或配制標準混合氣。在高壓開關中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其化學穩定性好和對設備不腐蝕等特點,在冷凍工業上可用作冷凍劑(操作溫度-45~0℃之間)。由于對α粒子有高度的停止能力,還用于放射化學。此外還作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。
2、可用于有色金屬的冶煉和鑄造工藝,也可用于鋁及其合金熔融物的脫氣和純化。在微電子業中,可用六氟化硫蝕刻硅表面并去除半導體材料上的有機或無機膜狀物,并可在光導纖維的制造過程中,作為單膜光纖隔離層摻雜劑。加有六氟化硫的電流遮斷器額定電壓高,且不易燃燒,另外,六氟化硫還用于各種加速器、超高壓蓄電器、同軸電纜和微波傳輸的絕緣介質。目前六氟化硫是應用較為廣泛的測定大氣污染的示蹤劑,示蹤距離可達100km。六氟化硫化學穩定性好,對設備不腐蝕,在冷凍工業中可作為冷凍劑(操作溫度在-45~0℃之間),作制冷劑替代氟利昂,對臭氧層完全沒有破壞作用,符合環保和使用性能的要求,是一種很有發展潛力的制冷劑。用作電氣絕緣介質和滅弧劑,測定大氣污染程度的示蹤劑。
3、主要用于高壓開關中滅弧,在大容量變壓器和高壓電纜中作為絕緣材料使用。可在核粒子加速器及避雷器X射線設備中作為氣體的絕緣材料,利用SF6化學穩定性好,對設備不腐蝕,在冷凍工業中可作為冷凍劑(操作溫度在-45~0℃之間),SF6對α-粒子有高度的停止能力,故在放射化學中也有應用;也可作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。
4、用作電子設備和雷達波導的氣體絕緣體。 [3] 
急救措施
吸入:迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。 [4] 
消防措施
危險特性:若遇高熱,容器內壓增大,有開裂和爆炸的危險。
有害燃燒產物:氧化硫、氟化氫。
滅火方法:該品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。 [4] 
泄漏應急處理
應急處理:迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。如有可能,即時使用。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。
處置與儲存
操作注意事項:密閉操作,局部排風。操作人員必須經過專門培訓,嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具(半面罩)。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。
儲存注意事項:儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。
運輸信息
包裝方法:鋼質氣瓶
運輸注意事項:鐵路運輸時需經生物試驗證明合格,根據合格證托運。采用剛瓶運輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放,并應將瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超過車輛的防護欄板,并用三角木墊卡牢,防止滾動。嚴禁與易燃物或可燃物、氧化劑等混裝混運。夏季應早晚運輸,防止日光曝曬。鐵路運輸時要禁止溜放。 [4] 
環境影響
雖然六氟化硫本身對人體無毒、無害,但它卻是一種溫室效應氣體,其單分子的溫室效應是二氧化碳的2.2萬倍,是《京都議定書》中被禁止排放的6種溫室氣體之一。
根據IPCC提出的諸多溫室氣體的GWP(全球變暖潛能)指標,六氟化硫的GWP值最大,500年的GWP值為32400,且由于六氟化硫高度的化學穩定性,其在大氣中存留時間可長達3200年。
當今世界六氟化硫的排放量極少,對溫室效應的貢獻相比于二氧化碳而言完全可以忽略;但出于長久的環保和安全考慮,如何合理、正確的回收凈化六氟化硫氣體,是必須解決的問題。 [6] 
安全信息
危險品標志:XiIrritant(刺激性物品)
R37 刺激呼吸系統。
S38 通風不良時,須佩戴適當的呼吸器。
危險類別:2.2
危害:Irritant(刺激性物品) [7] 

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